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    • 专利摘要:

    公开号:WO1987004837A1
    申请号:PCT/DE1987/000038
    申请日:1987-01-31
    公开日:1987-08-13
    发明作者:Horst Redlich；Günter Joschko
    申请人:Teldec Schallplatten Gmbh；
    IPC主号:G11B23-00
    专利说明:
    [0001] Verfahren zur Herstellung einer bespielten plattenförmigen Matrize _.
    [0002] Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer bespielten plattenförmigen Matrize nach dem Oberbegriff des Anspruches 1. Die Erfindung betrifft weiterhin eine bespielte plattenfärmige Matrize sowie einen unbespielten Informations¬ träger nach den Oberbegriffen der Ansprüche 10 und 11.
    [0003] In der analogen Schallplattentechnik ist es bereits bekannt, Informationssignale in metallische Aufzeichnungsträger ein¬ zuschneiden und von diesem Träger unmittelbar Matrizen abzu¬ ziehen. Dieses,als sogenanntes Direktmetall-Masteringverfahren bekannte,von der Anmelderin i entwickelte, Verfahren (DMM-- Direct Metal Mastering) zeichnet sich durch hohe Formtreue bei der galvanischen Duplizierung sowie Wegfall von mehreren Zwischenstufen zur Herstellung einer Schallplatte aus.
    [0004] Einer analogen Schallaufzeichnung haften jedoch grundsätzliche Probleme an, die zwar durch die Weiterentwicklung der Technik zum überwiegenden Teil beherrschbar wurden, jedoch hat sich in den letzten Jahren auch die digitale Aufzeichnung eines Infor¬ mationssignals mit anschließender optischer Auslesung mit Hilfe eines Lasers einen beträchtlichen Marktanteil erobert. Das digi¬ tale Signal wird dabei üblicherweise durch komplizierte opti¬ sche und chemische Prozesse auf einen Aufzeichnungsträger auf¬ gezeichnet. Die davon vervielfältigten sogenannten CD-Plat¬ ten (Compact-Disc) zeichnen sich durch gute akustische Eigen¬ schaften sowie durch die Er öglichung einer berührungsfrei¬ en Abtastung mit Hilfe eines Lasers aus.
    [0005] Für den Endverbraucher ist die Handhabung einer CD-Platte einfacher als die einer herkömmlichen Schallplatte, da die Oberfläche einer CD -Platte relativ unempfindlich ist. Das berührungsfreie Abtasten mit Hilfe eines Lasers ermöglicht weitere Vorteile.
    [0006] Allerdings ist die Herstellung einer CD-Platte ungleich komplizierter als die Herstellung einer analogen Schall¬ platte. Die beim Stand der Technik verwendeten Einrichtungen verlangen die Verwendung von "Reinsträu en", damit nicht die Gefahr besteht, daß Staubpartikel den Herstellungspro¬ zeß einer Platte in unzumutbarer Weise beeinträchtigen. Die Herstellung des sogenannten CD-Masters erfolgt übli¬ cherweise in folgenden Schritten: Eine hochglanzpolierte Glasplatte wird zunächst einer visuellen Kontrolle unterzogen, dann gereinigt und mit einer Haftschicht Versehen. Auf diese Haftschicht wird eine Fotoresistschicht aufgetragen, deren Dicke von 0,1 μ genau der Tiefe der Signalspur auf der fertigen CD-Platte entspricht, um ein Auslesen mit Hilfe eines Laserstrahls zu ermöglichen. Anschließend erfolgt eine erneute Überprüfung sowie Haltbarmachung der be¬ schichteten Glasplatte. Darauf erfolgt die Aufzeichnung des Informationssignals mit Hilfe eines Laserstrahls, so daß im nachfolgenden Entwicklerprσas^ die Stellen der Belichtung ausgewaschen werden können.. Der Vorgang des Äias- waschens wird durch einen Laserstrahl kontrolliert so lange fortgesetzt, bis die gewünschte Pitstruktur erreicht ist. Nachfolgend wird die entwickelte Fotoresistschicht mit einer dünnen Silberschicht versehen, um die Aufgalvanisierung eines Trägermaterials zu ermöglichen. Nach der Aufgalvanisierung kann der Glasträger entfernt werden, so daß nach weiterem Entfernen der nichtbelichteten Fotoresist¬ schicht die endgültige Matrize (Vater) vorliegt, die zur Wei¬ terverarbeitung in nachfolgenden Stufen in herkömmlicher Weise eine Vervielfältigung ermöglicht.
    [0007] Die Vielzahl der Verfahrensschritte und die Kompliziertheit der Einrichtungen zur Kontrolle der gewünschten Signalform bedingen ein kostspieliges Herstellungsverfahren, das empfind¬ lich auf Störungen, Staubpartikel in der Atmosphäre sowie un¬ genaue Verfahrensparameter reagiert.
    [0008] Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren anzu¬ geben, das die Herstellung von Matrizen, insbesondere für die digitale Schallplattenaufzeichnung, die für die Laserauslesung geeignet ist, wesentlich vereinfacht, mehrere Zwischenstufen der Herstellung nach dem Stand der Technik überflüssig macht und insgesamt eine verbesserte Qualität der Aufzeichnung er¬ möglicht. Eine weitere Aufgabe besteht darin, bespielte Matrizen und unbespielte Informationsträger anzugeben, die unempfindlich und lagerfähig sind und gute AufZeichnungs¬ eigenschaften aufweisen.
    [0009] Diese Aufgaben werden durch die in den unabhängigen Ansprüchen angegebene Erfindung gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in Unteransprüchen angegeben.
    [0010] Mit Hilfe der Erfindung ist es möglich, ein Verfahren für die Matrizierung einer digitalen Schallaufzeichnung anzugeben, das ohne Verwendung eines Laserstrahls für die Aufzeichnung und ohne Fotoresistlacktechnik auskommt. Das unmittelbar in eine AufZeichnungsschicht eingeprägte oder eingeschnittene Infor¬ mationssignal kann galvanisch abgeformt und nach Aufbringung eines Trägers weiterverarbeitet und vervielfältigt werden. Der Aufbau des durch das angegebene Verfahren entstehenden Sandwiches besteht nur aus metallischen Schichten. Diese ge¬ statten eine wesentlich bessere Formtreue und Abformung als es bei der Verwendung von Lackschichten oder Fotoresist¬ schichten möglich ist.
    [0011] Nach der Erfindung wird auf einen Glasträger, vorzugsweise nach Aufbringen einer Trennschicht aus Zinnbronze, eine In¬ formationsträgerschicht aus vorzugsweise Kupfer aufgedampft. Das Informationssignal wird dann unmittelbar auf dieser In— formationsträgerschicht aufgezeichnet. Dann wird auf diese Informationsträgerschicht galvanisch eine weitere Metall¬ schicht - vorzugsweise Gold - und darauf ein Trägermaterial, das vorzugsweise aus Nickel besteht, aufgebracht. Der Glas¬ träger kann dann zur erneuten Verwendung leicht mechanisch von dem Sandwich abgelöst werden.
    [0012] Der abgelöste Sandwich kann zwar noch nicht unmittelbar zur Duplizierung verwendet werden, sondern bildet eine Zwischen¬ stufe dazu. Diese Zwischenstufe ist jedoch besonders zur Lagerung und zum Transport geeignet, da sie keinerlei Zugang zum Informationssignal der Informationsträgerschicht bietet, denn das die Information enthaltene Gebiet ist beidseitig in Metallschichten eingebettet.
    [0013] Da die Informations^rägerschicht vorzugsweise aus Kupfer be¬ steht, auf die eine Zwischenschicht aus Edelmetall, vorzugs¬ weise Gold oder Platin, aufgebracht ist, kann die AufZeich¬ nungsschicht in einem einfachen Eisen-III-Chloridbad entfernt werden, ohne daß die Edelmetallschicht angegriffen wird. Wegen der unmittelbaren galvanischen Abformung auf der Informations¬ trägerschicht ist die Edelmetallschicht eine getreue Abbildung der aufgezeichneten Signalstruktur. Von dieser Vatermatrize können dann Abzüge angefertigt werden (Muttermatrizen bzw. Preßmatrizen). Die Vatermatrize ist aber auch direkt als Pre߬ matrize verwendbar. Die Erfindung wird nachstehend anhand eines Ausführungsbei¬ spiels näher erläutert.
    [0014] Fig. 1 zeigt die Darstellung einer Matrize nach dem Stand der Technik im Querschnitt, Fig. 2 eine Darstellung der erfindungsgemäßen Matrize im
    [0015] Querschnitt.
    [0016] Der Schichtenaufbau einer Matrize nach dem Stand der Technik ergibt sich aus Fig. 1 (nicht maßstabsgerecht). Auf einen hochpolierten Glasträger 1 wird zunächst eine Haftschicht 2 aufgetragen, auf die eine Fotoresistschicht" 3 folgt. Die Fotoresistschicht ist in einer Stärke von 0,lμm aufgebracht. In diese Fotores'istschicht wird das Informationssignal mit Hilfe eines Laserstrahls einbelichtet, so daß sich an den Stellen der Belichtung eine Strukturänderung ergibt, die im nachfolgenden Entwicklungsprozeß ausgewaschen werden kann. Nach dem Entfernen der Fotoresistschicht an den belichteten Stellen muß, bevor wegen der fehlenden Leitf higkeit der Fotoresistschicht der Nickelträger aufgebracht werden kann, eine Silberschicht 4 aufgebracht werden, die für das galva¬ nische Anwachsen der Nickelschicht 5 die notwendige Leit¬ fähigkeit der Oberfläche herstellt.
    [0017] Danach kann der Glasträger von der Fotoresistschicht abgelöst werden, so daß die Reste der Fotoresistschicht von dem Glas¬ träger zusammen mit der Adhesive-Schicht bzw. von der Silber- schicht 4 durch geeignete Lösungsmittel entfernt werden. Die SignalaαfZeichnung liegt nunmehr in erhabener Form als Negativ vor und kann in nachfolgenden Galvanisierstufen vervielfältigt werden.
    [0018] Die Aufgabe der Haftschicht 2 liegt im wesentlichen darin, einerseits der Fotoresistschicht einen besseren Haftgrund zum Glas zu geben, um nicht durch das spätere Aufbringen einer Nickelschicht und dadurch verursachter Spannungen ein Ablösen der Fotoresistschicht zu verursachen, andererseits bei der Aufbringung der Silberschicht 4 das Durchschlagen auf die Glasoberfläche zu verhindern, da andernfalls die Silber¬ schicht an der Glasoberfläche festhaften würde.
    [0019] Auf diesem Wege hergestellte Matrizen sind relativ fehler¬ anfällig, so daß ein hoher Ausschuß auftritt.
    [0020] Fig. 2 zeigt in nicht maßstabsgerechter Querschnittsdarstel¬ lung einen Schnitt durch eine erfindungsgemäße Matrize. Auf einen Glasträger 6 der Dicke 6 - 8 mm wird zunächst eine dünne Zinnbronze-Schicht der Dicke von etwa 20 n im Hoch¬ vakuum aufgedampft. Darauf wird eine Reinkupferschicht im Hochvakuum aufgedampft mit der Dicke von etwa 100 - 300 nm. Das derart aufgebrachte Kupfer ist ausreichend duktil, um ein Einschneiden bzw. -Einprägen eines Informationssignals zu ermöglichen.
    [0021] Ein derartig unbespielter Informationssträger kann nun in eine AufZeichnungseinrichtung eingespannt werden. Das In¬ formationssignal wird dann mit Hilfe eines Diamantwerkzeuges eingeprägt oder eingeschnitten. In der DE-P 35 27 606 sind Verfahren und Einrichtungen zur Aufzeichnung eines Informa¬ tionssignales angegeben, die zum Einprägen eines Signals in einen erfindungsgemäßen Informationsträger geeignet sind.
    [0022] Nach dem Aufzeichnen des Informationssignals erfolgt das galvanische Aufbringen vorzugsweise einer Goldschicht mit einer Dicke von etwa 5 μ_n. Die Goldschicht 9 ebnet die eingeschnit¬ tenen Informations-Pits vollkommen ein. In äiesero Stadium ist bereits ein völliger Schutz der Aufzeichnung erreicht. Daran anschließend kann jetzt die Trägerschicht 10 aus Wickel gal¬ vanisch aufgebracht werden. Die Nickelschicht einer Dicke von 0,2 mm dient als Trägermaterial der aufgezeichneten Information. In diesem Zustand kann der Sandwich über lange Zeit gelagert werden, es kann aber auch zunächst die Glasplatte für eine weitere Verwendung entlang der Zinnbronzeschicht 7 abgezogen werden. Die Zinnbronzeschicht 7 ermöglicht eine leichte mechanische Trennbarkeit des Sandwich von der Glasplatte, andererseits gewährt sie ausreichende Haftung der Infor¬ mationsträgerschicht an der Glasplatte. Vorzugsweise wird der Sandwich in diesem Zwischenstadium (ohne Glasträger) gelagert oder transportiert. Eine Beschädigung der Oberfläche der Au Zeichnungsschicht ist hierbei nicht möglich.
    [0023] Sobald die Matrize zur Weiterverarbeitung gebraucht wird, kann in einem einfachen Eisen-III-Chloridbad die zum Ein¬ schneiden oder Einprägen der Information verwendete Kupfer¬ schicht abgeätzt werden. Zur besseren Löslichkeit der Zinn¬ bronzeschicht wird diesem Bad vorzugsweise etwas Salzsäure zugesetzt. Ein geeigneter Ansatz eines derartigen Bades enthält 50g FeCls x 6 H20, 25ml HC1 (25 ) , 1 1 H2O.
    [0024] Da das Eisen-III-Chloridbad die Zwischenschicht 9 aus edlem Metall, nämlich Gold oder Platin oder ein anderes Edelmetall, nicht angreifen kann, wird ausschließlich die Kupferschicht weggeätzt. Das aufgezeichnete Informationssig¬ nal tritt daher in der Goldschicht ohne irgendeine mechani¬ sche Beschädigung oder Formveränderung hervor. Die Kupferschicht wird durch das Eisen-III-Chloridbad völlig entfernt.
    [0025] Durch diese Maßnahme ergibt sich eine vollkommene Abformung der Kupferschicht 8 in der Goldzwischenschicht 9. Diese kann dann zusammen mit dem Nickelträger 10 als Vater-Matrize zur weiteren Vervielfältigung oder auch direkt als Preßmatrize verwendet werden.
    [0026] Das Einprägen oder Einschneiden des Informatiαnssignals in die Kupferschicht 8 ermöglicht eine hochgradige Genauigkeit.
    [0027] 8
    [0028] Dies bedeutet andererseits, daß in dem verwendeten Auflösungs- bereich die AufZeichnungssicherheit sehr hoch ist, so daß der Ausschuß sehr klein gehalten werden kann.
    [0029] Das unmittelbare Aufzeichnen des Informationssignals mit mechanischen Mitteln erlaubt es gleichzeitig, bereits während der Aufzeichnung eine Signalkontrolle vorzunehmen, z. B. mit Hilfe eines Laserstrahls, so daß sofort erkannt werden kann, ob irgendwelche Fehler in der Aufzeichnung vorliegen. Zur Prüfung ist also kein nachfolgender Entwicklungsprozeß er¬ forderlich. Daraus ergibt sich bereits eine hohe Sicherheit und Zeitersparnis zur Herstellung einer derartigen Matrize.
    [0030] Der Aufzeichnungsvorgang benötigt im Gegensatz zur Laser- Fotoresisttechnik keine •. Reinraumbedingungen. Die für das angegebene Verfahren erforderlichen galvanischen Proze߬ schritte sind ebenfalls unter den in der Schallplattentechnik bisher üblichen Reinheitsbedingungen durchführbar.
    [0031] Das Wegätzen der Schneidschicht von der Goldschicht bietet den besonderen Vorteil, daß keine mechanische Trennung an der Schneidschicht vorgenommen werden muß und daher Spannungs¬ probleme und Beschädigungen vermieden werden können, wie sie bei der Matrizierung analoger Schallplatten auftreten können.
    [0032] Die Trennschicht 7 weist gegenüber der Schneidschicht 8 eine gute Haftung auf, so daß beim Abtrennen des Glasträgers von der Matrize keine Rückstände auf dem Glasträger verbleiben.
    [0033] Zur Durchführung des erfindungsgemäßen Prinzips können als Informationsschicht grundsätzlich alle zum Einschneiden bzw. Einprägen geeigneten Stoffe aus unedlem Metall verwendet werden, auf die dann Schichten aus edlem Metall aufgalvani¬ siert werden. Das Abätzen des unedlen Metalls greift die verbleibende Schicht aus edlem Metall nicht an. Von besonderem Vorteil kann weiterhin angesehen werden, daß die bereits während der Aufzeichnung ermittelte Fehlerrate sich in der nachfolgenden Galvanisierung nicht mehr verän¬ dert und bis zur Ablösung der Informationsschicht von der Edelmetallschicht konstant bleibt, so daß sich eine äußerst unempfindliche Zwischenstufe der Matrizierung ergibt, die besonders geeignet ist zum Transport- oder zur Lagerung einer Matrize, bevor davon Vervielfältigungen gezogen werden.
    [0034] Bezugszeichenliste;
    [0035] 1 Glasträger
    [0036] 2 Haftschicht
    [0037] 3 Fotσresistschicht
    [0038] 4 Silberschicht
    [0039] 5 Nickelträger
    [0040] 6 Glasträger
    [0041] 7 Trennschicht
    [0042] 8 Informationsträgerschicht
    [0043] 9 Zwischenschicht 0 Aufzeichnungsträger
    权利要求:
    Claims11Ansprüche:
    1. Verfahren zur Herstellung einer bespielten platten¬ förmigen Matrize, bei dem das Informationssignal auf einer metallischen Informationsschicht (8) aufge-
    I zeichnet wird, gekennzeichnet durch die Verfahrens¬ schritte
    a) auf einen Glasträger (6) vird eine aus Metall bestehende Informationsträgerschicht (8) aufgedampft, b) das Informationssignal wird mit Hilfe eines Schneid¬ oder Prägestichels auf der Oberfläche der Informations¬ trägerschicht (8) aufgezeichnet, c) auf die Informationsträgerschicht (8) wird eine metal¬ lische Zwischenschicht (9) aufgalvanisiert, die in ihrer chemischen Zusammensetzung von der Informationsträger¬ schicht abweicht, d) auf die Zwischenschicht (9) wird eine metallische Trägerschicht (10) aufgalvanisiert, e) der aus Informationsträgerschiσht (8), Zwischen¬ schicht (9) und Trägerschicht (10) gebildete Sandwich wird vom Glasträger (6) mechanisch getrennt und f) die Informationsträgerschicht (8) wird durch ein die Zwischenschicht (9) nicht angreifendes Medium chemisch aufgelöst.
    2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Glasträger (6) vor dem Aufdampfen der Informationsträger¬ schicht (8) mit einer Trennschicht (7) versehen wird. 12
    3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Trennschicht (7) aus Metall besteht und daß die Trennschicht nach Trennung desSandwiches (8, 9, 10) vom Glasträger (6) chemisch aufgelöst wird.
    !. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenschicht (9) aus Edelmetall besteht.
    5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenschicht (9) aus Gold, Rodium oder Platin oder einer Edelmetall-Legierung besteht.
    6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Informationsträgerschicht (8) aus Kupfer oder einer Kupferlegierung besteht.
    7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Trägerschicht (10) aus Nickel besteht.
    8. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Trennschicht (7) aus aufgedampfter Zinnbronze besteht,
    9. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Informationsträgerschicht (8) und die Trennschicht (7) zusammen in dem gleichen chemischen Medium aufgelöst und dadurch entfernt werden.
    10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das chemische Medium ein Eisen-III-Chloridbad mit einem Zusatz von Salzsäure ist.
    11. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Informationssignal in Form einer Folge von Vertiefun¬ gen mit veränderlicher Länge und Abstand, aber im wesent¬ lichen gleichbleibender Tiefe und Breite aufgezeichnet wird. 13
    12. Bespielte plattenfδr ige Matrize, bei der das Infor¬ mationssignal durch Prägen oder Schneiden auf einer metallischen Informationsträgerschicht aufgezeichnet ist, dadurch gekennzeichnet, daß auf die Oberfläche der Informationsträgerschicht (8) eine Metallzwischen¬ schicht (9) , deren chemische Zusammensetzung von der der Informationsträgerschicht (8) abweicht, und darauf eine etalische Trägerschicht (10) aufgalvanisiert sind.
    13. Bespielte plattenfδrmige Matrize nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Informationsträger¬ schicht (8) aus Kupfer und die Zwischenschicht (9) aus einem Edelmetall besteht.
    14. Bespielte plattenfδrmige Matrize nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenschicht (9) aus Gold oder Platin besteht.
    15. Unbespielte plattenfδrmige Matrize, dadurch gekenn¬ zeichnet, daß auf einem Glasträger (6) eine Kupfer¬ schicht (8) aufgedampft ist.
    16. Unbespielte plattenfδrmige Matrize nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Glasträger (6) und der Kup erschicht (8) eine aus Zinnbronze bestehende Trennschicht (7) aufgedampft ist.
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